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疊層電感元件之工藝

1.疊層電感元件和制作工藝

疊層電感(磁珠)是把有電極的陶瓷膜片(Sheet),以一定的方式疊合、加壓、切割、排膠,一次燒結使之形成獨石(Monolithic)結構,再制作端電極,之后就制成了疊層電感器(磁珠)?;蛘哒f是利用流延(或印刷)工藝制作的陶瓷膜片(或半導體陶瓷膜),以一定的方式 疊合(印刷)、切割、脫粘合劑,一次燒結,再制作端電極而制成的電感元件。

疊層是指在流延(或印刷)工藝生產的陶瓷膜片上,先印刷上幾十個或幾百個電極圖案,然后把許多層這種膜片交錯疊合,形成長方形或正方形疊片狀構造。目前較為成熟的制作工藝

是流延穿孔法和交替印刷法。

流延穿孔法,即將低溫燒結的介質材料加粘合劑等制成漿料,用流延工藝制成干膜片,在設定的位置用機械方法打通孔,然后在干膜片上印刷3/4周導電的電極漿料,同時,在通孔中填充滿電極漿料。將印刷導電電極漿料的干膜片精確定位,疊層加壓形成一個整體,在精密切割機上切成單個的片感生坯,脫粘合劑,在900℃以下共燒形成獨石結構,再制作端電極后,就制成了疊層電感器。

交替印刷法,即將低溫燒結的介質材料加粘合劑等制成適合于絲網印刷工藝的漿料,印刷成介質膜。在此膜上,印刷3/4周導電的電極漿料,再在1/2的區域上印刷介質膜,這樣,1/2周的導電電極漿料被介質膜覆蓋,1/4周未被覆蓋。再繼續印刷3/4周導電的電極漿料,與上次印刷未被覆蓋的導電電極漿料相連接,從而形成一匝回路導體,中間由介質膜隔開。重復這一過程,就印刷成疊層電感結構,然后烘干、精密切割、排膠、倒角。在900℃以下共燒形成獨石結構,再制作端電極后,就制成了疊層電感器。


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